电感耦合等离子体质谱法测定三氯氢硅中12种杂质元素

• 王生红, 
• 张福海, 
• 陈 英, 
• 祝永强, 
• 宗 冰, 
• 季静佳, 
• 蔡延国, 
• 魏东亮